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輔光精密儀器(上海)有限公司

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手動型分析探針臺

產(chǎn)品二維碼
參  考  價:¥ 20
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 產(chǎn)品型號:手動型分析探針臺
  • 品牌:
  • 產(chǎn)品類別:消磁機
  • 所在地:
  • 信息完整度:
  • 樣本:
  • 更新時間:2023-06-15 19:51:55
  • 瀏覽次數(shù):22

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輔光精密儀器(上海)有限公司

其他

  • 經(jīng)營模式:其他
  • 商鋪產(chǎn)品:1023條
  • 所在地區(qū):
  • 注冊時間:2023-06-15
  • 最近登錄:2023-06-16
  • 聯(lián)系人:楊經(jīng)理
產(chǎn)品簡介

這款手動型分析探針臺廣泛用作晶圓探針臺和RF探針臺,性價比高,配置靈活多樣,具有加熱型晶圓夾盤chuck,體式顯微鏡,RF屏蔽箱等諸多配件可選擇,適合實驗室半導(dǎo)體器件測試和晶圓探針臺測試應(yīng)用

詳情介紹

  這款手動型分析探針臺廣泛用作晶圓探針臺和RF探針臺,性價比高,配置靈活多樣,具有加熱型晶圓夾盤chuck,體式顯微鏡,RF屏蔽箱等諸多配件可選擇,適合實驗室半導(dǎo)體器件測試和晶圓探針臺測試應(yīng)用。

  手動型分析探針臺特色

  手動操作樣品臺,行程范圍100mm x 100mm

  加載或卸載晶圓非常方便

  傳統(tǒng)的粗調(diào)和微調(diào)臺板設(shè)計,范圍12.7mm, 25mm或40mm可選

  光滑的磁鐵臺板可支撐高達10個磁性或真空

  高質(zhì)量體式放大顯微鏡,工作距離高達200mm, LED照明,放大倍數(shù)3.5X~180X

  帶有相機接口

  兩側(cè)帶有連接接口,適合連接微,可定制BNC,Triax, DCpin 或RF鏈接接頭

  標準的XYZ三維位移臺顯微鏡

  可提供RF探針,RF卡盤,RF隔離箱等附件

  手動型分析探針臺規(guī)格參數(shù)

  適合晶圓大?。?00mm

  手動XY位移臺: 行程范圍100mm x 100mm, 分辨率5um

  臺板行程:12.7mm 或更大,

  臺板調(diào)整:帶有粗調(diào)和微調(diào)功能,重復(fù)精度+/-1.5um

  臺板平面度 lt;+/-12.7um @150mm長度

  臺板剛度: <5um @4.5kg

  樣品夾盤規(guī)格

  真空:多區(qū)真空

  平面度:+/-13um

  擊穿電壓:500V

  隔離度:1G歐姆

  調(diào)整:360度粗調(diào), +/-6度微調(diào)

  顯微鏡:高質(zhì)量體式放大顯微鏡,工作距離高達200mm, 放大倍數(shù)范圍3.5X~180X

  電學(xué)接頭:BNC, Triax, RF, Banana插頭

  安裝要求:真空度<600Torr, CDA:60psi(僅適用于啟動XY升級位移臺)

  整體尺寸: W78cm xD80cm x H58cm

  凈重:85kg ~95kg (根據(jù)所選不同配件)

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