這款主動磁場屏蔽消磁系統(tǒng)是為電鏡等電子束儀器屏蔽磁場干擾而設(shè)計的磁場屏蔽和消磁裝置系統(tǒng).用于為科學儀器裝置免收磁場干擾影響的環(huán)境.主動磁場屏蔽消磁系統(tǒng)在原有的磁場屏蔽室內(nèi)增設(shè)主動磁場消磁儀器,為精密科學儀器提供磁場屏蔽環(huán)境。主動磁場屏蔽消磁系統(tǒng)應(yīng)用
掃描電子顯微鏡SEM
透射電子顯微鏡TEM
聚焦粒子束FIB
質(zhì)譜儀器MASS
電子束光刻系統(tǒng)EBL
掩膜檢測裝置設(shè)備
晶圓檢測系統(tǒng)
其它電子束EB儀器
干擾磁場無處不在,需要屏蔽消磁：直流磁場：靜磁場是指強度、方向基本不變的穩(wěn)恒磁場。交流磁場：指強度、方向發(fā)生周期性變化的磁場。隨機磁場：由地鐵、汽車等通過時而產(chǎn)生的磁場 電氣設(shè)備?機器的運作/停止等引發(fā)的磁場 磁場的紊亂會對精密儀器的性能帶來不良影響受直流磁場的影響，圖像偏移不清；圖像紊亂，圖像消失不見；受交流磁場影響：圖像?有類似線條等出現(xiàn)
將同軸心的亥母霍茲線圈串聯(lián)并平行配置，可以將外部電流和線圈軸方向磁場發(fā)生的改變
主動磁場屏蔽消磁系統(tǒng)構(gòu)成
主動磁場屏蔽消磁系統(tǒng)參數(shù)規(guī)格
| 特點 | X、Y、Z 三軸同時控制 |
| 帶有自動調(diào)整功能 | |
| 控制范圍 | ±5μT（2m四方筐型線圈的情況） |
| 控制頻率 | 直流~1 kHz |
| 衰減率 | 40-60 dB |
| 控制方式 | 直流磁場表值控制+各軸獨立反饋控制 |
主動磁場屏蔽消磁系統(tǒng)應(yīng)用
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