XYZ雙驅(qū)直線電機平臺
1)直線電機平臺爲雙驅(qū)龍門式結(jié)構(gòu)，共六軸，下軸定義爲Y1＆Y2軸，橫軸定義為Y軸，橫梁定義爲X軸，垂直軸定義爲Z軸，旋轉(zhuǎn)軸定義為U軸，ACS控制。
2)Z軸使用線性模塊，規(guī)格爲KL100-L20-S200-BD-Y400W,配光柵尺。大理石為00級
長寬高：1350*1102*153mm(標準為1350*1102*150mm)
左右立柱高:370mm(標準為370mm)
XYZ雙驅(qū)直線電機平臺技術參數(shù)
| | Y軸 | X軸 | Z軸 | U軸 |
| 類型 | 直線電機 | 直線電機 | 線性橫線 | DD馬達 |
| 有效行程 | 550mm | 750mm | 200mm | |
| 速度 | 0.8m/s | 0.8m/s | 0.5mm/s | |
| 加速度 | 10m/s^2 | 10m/s^2 | 3m/s^2 | |
| 重復定位精度 | ±0.3μm | ±0.5μm | ±3μm | 0.5m/s |
| 光柵尺分辨率 | 0.5μm | 0.5μm | 1μm | |
XYZ雙驅(qū)直線電機平臺各運動部分運動靈活、平穩(wěn)、可靠、無卡滯現(xiàn)象，無異常噪音，高速無明顯震動，低速無爬行現(xiàn)象
XYZ雙驅(qū)直線電機平臺應用
激光行業(yè)：激光切割、激光雕刻、激光打標
半導體行業(yè)：晶圓檢測與探測、半導體固晶機、半導體金線焊線機、集成塊檢測與探測、高速取放與傳送設備等
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