TLM2-T212T222直線電機(jī)平臺(tái)是由 XY軸直線電機(jī)組合 垂直度±5，重現(xiàn)精度±0.002mm,
·直線電機(jī)具有等高速度高精度高加減速特性，直接驅(qū)動(dòng)無(wú)背隙，維護(hù)低；
·本體為鋁合金一體加工成型，組合精度高；
·直線電機(jī)模組內(nèi)置可靠防撞設(shè)計(jì)，防止因碰撞導(dǎo)致的電機(jī)損壞；
·使用日本THK 高級(jí)導(dǎo)軌，精度高、剛性高、噪音小、壽命長(zhǎng)；
·使用英國(guó)Renishaw 光柵尺，穩(wěn)定可靠，精度高；
·直線電機(jī)具有等高速度高精度高加減速特性，直接驅(qū)動(dòng)無(wú)背隙，維護(hù)低；
·本體為鋁合金一體加工成型，組合精度高；
·直線電機(jī)模組內(nèi)置可靠防撞設(shè)計(jì)，防止因碰撞導(dǎo)致的電機(jī)損壞；
·使用日本THK 高級(jí)導(dǎo)軌，精度高、剛性高、噪音小、壽命長(zhǎng)；
·使用英國(guó)Renishaw 光柵尺，穩(wěn)定可靠，精度高；
·內(nèi)置Renishaw 原點(diǎn)，并配備光電式極限開關(guān)；
·使用以色列Servotronix 驅(qū)動(dòng)器，響應(yīng)頻率高、功能強(qiáng)大、穩(wěn)定性強(qiáng)。
TLM2-T212T222XY軸直線電機(jī)平臺(tái)尺寸圖
XY軸直線電機(jī)平臺(tái)技術(shù)參數(shù)（僅供參考）
| 有效行程 （mm） | 總長(zhǎng)度 （mm） | L1 (mm) | L2 (mm) | N | X軸移動(dòng)部重量 （kg） | Y軸移動(dòng)部重量 (kg) | XY平臺(tái)總重量 （kg） | ||
| X軸 | Y軸 | LX | LY | ||||||
| 100 | 100 | 430 | 460 | 28 | 99 | 4 | 5.5 | 16 | 42 |
| 100 | 200 | 430 | 560 | 28 | 99 | 5 | 16 | 44 | |
| 200 | 200 | 530 | 560 | 28 | 149 | 5 | 18 | 46 | |
| 100 | 300 | 430 | 660 | 28 | 99 | 6 | 16 | 46 | |
| 200 | 300 | 530 | 660 | 28 | 149 | 6 | 18 | 48 | |
| 300 | 300 | 630 | 660 | 28 | 199 | 6 | 20 | 50 | |
| 100 | 400 | 430 | 760 | 28 | 99 | 7 | 16 | 48 | |
| 200 | 400 | 530 | 760 | 28 | 149 | 7 | 18 | 50 | |
| 300 | 400 | 630 | 760 | 28 | 199 | 7 | 20 | 52 | |
在微米工程等級(jí)的應(yīng)用以及晶圓設(shè)備中尤其重視精度及潔凈室適用性。采用高精度XY直線電機(jī)平臺(tái)為。
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