主要特點：
l 12 bit A/D
l 同時高分辨率采樣所有模式
l 實時檢測光束質(zhì)量、尺寸和高斯擬合
l 實時顯示光束2D/3D圖像
l 測量光束的中心、橢圓度和功率
l Excel數(shù)據(jù)存儲，RS232或TCP/IP數(shù)據(jù)傳輸
l 可保存快照圖像
l 自動驗證分析報告
優(yōu)勢：
技術(shù)：層析成像重建2 D/3D圖像
多功能：測量光束輪廓，光束尺寸，光束形狀，位置和功率
靈活性：寬譜范圍（190nm-1990nm）
精確度：光束尺寸3um到9mm，0.1um分辨率
緊湊結(jié)構(gòu)：基于USB2.0氣箱，測量頭，軟件
主要參數(shù)：
傳感器類型 | Si UV-Si IR IRE | |
光譜范圍 | Si UV-Si IR IRE | 350-1100nm 190-1100nm 800-1800nm 1200-2700nm |
刀片數(shù) | 3（BA3頭） 7（BA7頭） | |
光束尺寸范圍 | BA3-Si和BA3-UV BA7-Si和BA7-UV(橢圓形) BA7-Si和BA7-UV（圓形） BA3-IR3和BA3-IR3-E BA7-IR3和BA7-IR3-E BA3-IR5 BA7-IR5 | 3µm-5mm 15µm-10mm 15µm-9mm 3µm-3mm 15µm-3mm 3µm-5mm 15µm-5mm |
光束寬度分辨率 | >100µm <100µm | 1µm 0.1µm |
光束寬度精確度 | ±2% | |
功率范圍 | Si和UV-Si探頭 InGaAs探頭 | 10µW-1W(有衰減片) 10µW-5mW(無衰減片) |
功率精確度 | Si和UV-Si探頭 InGaAs探頭 | ±5% ±10% |
功率分辨率 | 0.1µW | |
位置精確度 | ±15µm | |
位置分辨率 | 1µm | |
飽和度 | Si和UV-Si探頭 | 0.1W/cm2(無衰減片)，20W/cm2(NG9) |
測量速率 | 5Hz | |
溫度 | 0℃-35℃ | |
PC接口 | USB2.0 |
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