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直線(xiàn)電機(jī)可以搭配各種位置回饋系統(tǒng)，1micron的數(shù)字式光柵尺普遍。當(dāng)然也可以選擇例如0.1micron的數(shù)字光柵尺，但要注意運(yùn)動(dòng)控制卡是否可以支持高速運(yùn)動(dòng)，如果想兼顧高解析和高速度運(yùn)動(dòng)的話(huà)，可以選擇模擬式的弦波光學(xué)尺。以40micron的模擬尺而言，搭配適當(dāng)?shù)尿?qū)動(dòng)器或控制器解析到數(shù)十個(gè)奈米都沒(méi)有問(wèn)題。
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