uPG 101
uPG 101 是很經(jīng)濟,容易去用微型發(fā)生器進行直寫應(yīng)用和低容量掩模制作的一個系統(tǒng)。這個系統(tǒng)可運用的應(yīng)用有,微電子機械系統(tǒng)、生物微系統(tǒng)、集成光學(xué)、微流道或者其他需要高分辨率的微型系統(tǒng)。他的面積很小只有60*1875px^2,的緊湊結(jié)構(gòu),使得所有的電子分量都可以完整的包含在這個系統(tǒng)中。個人電腦可以用來控制這個系統(tǒng),這個基于操作軟件的圖形用戶界面使用戶更容易去進行設(shè)計,生成目錄,自動對準和生成曝光。
 
重要特征選項
最小基板尺寸 6"x 6"
最小廟會尺寸0.6um
最小描繪網(wǎng)格20nm
基本灰度曝光模式
實時自動對焦系統(tǒng)
標準或者紫外二級管激光源
矢量和柵格曝光模式
可交換的寫模式
攝像系統(tǒng)的一致性
多種數(shù)據(jù)輸入模式
技術(shù)參數(shù)
寫入模式  | 1  | 2  | 3  | 4  | 
最小結(jié)構(gòu)大小(um)  | 0.6  | 1  | 2.5  | 5  | 
寫速度(mm^2/min)  | 1  | 5  | 35  | 90  | 
地址網(wǎng)格(nm)  | 20  | 40  | 100  | 200  | 
邊緣粗糙度(3σ,nm)  | 100  | 120  | 200  | 400  | 
線寬均勻度(3σ,nm)  | 150  | 200  | 400  | 800  | 
線條測量精度(3σ,nm)  | 200  | 200  | 400  | 800  | 




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