Horiba單色儀光譜儀
相比于其他光譜儀，Horiba的iHR系列光譜儀采用非對(duì)稱式的C-T光路設(shè)計(jì)，具有優(yōu)異的成像能力和高光譜分辨率。主要表現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：1）非對(duì)稱式設(shè)計(jì)可以有效減少慧差和其他相差，使得IHR成像光譜儀具有更寬廣的平場范圍；2)光譜儀采用比準(zhǔn)直鏡尺寸更大的超環(huán)面聚焦鏡，焦平面邊緣無光通量損失，使得整個(gè)平場范圍內(nèi)無暗角。3)非對(duì)稱式設(shè)計(jì)能夠有效地降低二次衍射光，提高光譜成像質(zhì)量。
Horiba為iHR配置多種不同規(guī)格的探測器，包括CCD探測器，InGaAs探測器，波長范圍覆蓋200-2200 nm。像元、像素從13.5μm到26μm，512到2048，從前照射和開放電極到被照射和深耗盡、從TE制冷到液氮制冷，，滿足用戶不同需求。
主要參數(shù)：
型號(hào) | Micro HR
| iHR320
| iHR550
|
焦長 | 140 mm | 320 mm | 550 mm |
相對(duì)孔徑 | F/3.88 | f/4.1 | f/6.4 |
光譜范圍 | 150 nm - 15μm | 150 nm - 40 μm | |
光柵數(shù)量 | 1~2塊 | 1~3塊 | |
光柵尺寸 | 32 x 32 mm | 68×68 mm | 76 × 76mm |
分辨率（PMT） | 0.25 nm | 0.06 nm | 0.025 nm |
波長精度 | ± 0.25 nm | ±0.20 nm | |
波長重復(fù)性 | ± 0.04 nm | ±0.075 nm | |
光譜色散@500nm | 5.25 nm /mm | 2.31 nm/mm | 1.34 nm/mm |
雜散光 | - - | 1.5×10-4 | 1×10-5 |
掃描速度 | 500 nm/s | 160 nm/s | |
掃描步長 | 0.025 nm | 0.002 nm | |
尺寸（L×W×H） | 178×206×140 mm3 | 417×422×192 mm3 | 648×460×193 mm3 |
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